超滤设备中的清洗程序主要包括以下几个步骤：

一、初步清洗与物理清洗
关闭阀门：首先关闭超滤设备的进出水阀门，释放设备内的压力。
取出滤芯：打开设备的罐盖，取出滤芯，用清水冲洗滤芯表面，去除杂质和污垢。
正洗：采用与过滤过程相同的流向，用清水对超滤膜进行冲洗，去除膜表面的一些松散污染物，如悬浮颗粒等。
反洗：与过滤方向相反，通过反向水流冲洗超滤膜，将附着在膜表面的污染物冲离膜表面，恢复膜的透水性能。反洗的频率通常根据进水水质和设备运行情况而定。
气洗：利用压缩空气对超滤膜进行清洗，气泡在膜表面和膜孔中破裂产生的冲击力可以去除膜表面的污染物和堵塞物。气洗通常与反洗结合使用，以增强清洗效果。
二、化学清洗
当物理清洗不能有效恢复超滤膜的性能时，就需要进行化学清洗。化学清洗是利用化学清洗剂与污染物发生化学反应，从而去除污染物。
清洗液准备：根据污染物的类型和程度，选择合适的清洗剂，并按照一定的比例配置成清洗溶液。
低流量循环清洗：将清洗溶液以较低的流量循环通过超滤膜组件，使清洗剂与污染物充分接触，发生化学反应。循环时间一般为30分钟至1小时。
浸泡：停止循环，让超滤膜在清洗溶液中浸泡一段时间，以增强清洗效果。浸泡时间一般为1至2小时。
高流量循环清洗：再次启动循环泵，以较高的流量循环清洗溶液，将反应后的污染物冲洗出超滤膜组件。
冲洗：用清水对超滤膜进行冲洗，直至冲洗水的pH值和电导率与进水相近为止。
三、特殊清洗方法
酸清洗：对于由无机污染物如碳酸钙、硫酸钙等引起的污染，可以选择盐酸、柠檬酸等酸性清洗剂。酸清洗可以溶解这些无机污染物，恢复膜的透水性能。
碱清洗：对于由有机物和微生物引起的污染，可以选择氢氧化钠、次氯酸钠等碱性清洗剂。碱清洗可以破坏有机物的结构，杀灭微生物，从而去除污染物。
氧化剂清洗：对于由有机物和微生物引起的严重污染，可以选择过氧化氢、高锰酸钾等氧化剂进行清洗。氧化剂可以氧化分解有机物，杀灭微生物，具有很强的清洗效果。
四、清洗后的处理
性能测试：清洗后的超滤膜需要进行性能测试，以确保清洗效果达到要求。如果清洗效果不理想，需要重新进行清洗或考虑更换超滤膜。
重新安装：将清洗干净的超滤设备滤芯重新安装到设备中，按照正确的安装步骤进行组装，打开进出水阀门，进行试运行，确保一切正常。
五、注意事项
在进行清洗之前，需要对超滤设备进行全面的检查，确保设备没有损坏和泄漏。
清洗过程中，要严格控制清洗剂的浓度、温度和清洗时间，避免对超滤膜造成损伤。
使用化学品时要佩戴防护装备，避免酸碱溅洒到皮肤或呼吸道。
综上所述，超滤设备的清洗程序包括初步清洗与物理清洗、化学清洗、特殊清洗方法以及清洗后的处理等步骤。这些步骤的有机结合可以有效地保持超滤设备的正常运行和延长设备的使用寿命，同时也可以确保过滤水质的卫生和安全。